1. መግቢያ

ዚንክ ቴሉራይድ (ZnTe) ቀጥተኛ የባንድ ክፍተት መዋቅር ያለው አስፈላጊ የII-VI ቡድን ሴሚኮንዳክተር ቁሳቁስ ነው። በክፍል ሙቀት፣ የባንድ ክፍተት በግምት 2.26eV ሲሆን በኦፕቶኤሌክትሮኒክ መሳሪያዎች፣ በፀሐይ ሴሎች፣ በጨረር መመርመሪያዎች እና በሌሎች መስኮች ሰፊ አፕሊኬሽኖችን ያገኛል። ይህ ጽሑፍ ለዚንክ ቴሉራይድ የተለያዩ የውህደት ሂደቶችን ዝርዝር መግቢያ ይሰጣል፣ ይህም ጠንካራ-ሁኔታ ምላሽ፣ የእንፋሎት ትራንስፖርት፣ በመፍትሔ ላይ የተመሰረቱ ዘዴዎች፣ ሞለኪውላዊ ጨረር ኤፒታክሲ፣ ወዘተ. ያካትታል። እያንዳንዱ ዘዴ በመርሆዎቹ፣ በአሠራሮቹ፣ በጥቅሞቹ እና በጉዳቶቹ እና በዋና ዋና ጉዳዮች ረገድ በዝርዝር ይብራራል።

2. ለ ZnTe ውህደት የጠንካራ-ስቴት ምላሽ ዘዴ

2.1 መርህ

የጠንካራ ሁኔታ ምላሽ ዘዴ የዚንክ ቴሉሪድን ለማዘጋጀት በጣም ባህላዊው አቀራረብ ሲሆን ከፍተኛ ንፅህና ያለው ዚንክ እና ቴሉሪየም በከፍተኛ ሙቀት በቀጥታ ምላሽ በመስጠት ZnTe ይፈጥራሉ።

Zn + Te → ZnTe

2.2 ዝርዝር አሰራር

2.2.1 ጥሬ እቃ ዝግጅት

1. የቁሳቁስ ምርጫ፡ ከፍተኛ ንፁህ የዚንክ ቅንጣቶችን እና ንፁህ ≥99.999% ያላቸውን የቴሉሪየም እብጠቶችን እንደ መነሻ ቁሳቁስ ይጠቀሙ።
2. ቁሳቁስ ቅድመ-ህክምና:
   • የዚንክ ህክምና፡- በመጀመሪያ የተሟሟ ሃይድሮክሎሪክ አሲድ (5%) ውስጥ ለ1 ደቂቃ ውስጥ አጥለቅልቀው የገጽታ ኦክሳይድን ለማስወገድ፣ በዲአዮኒዝድ ውሃ ያጠቡ፣ በአንሃይድሮዝ ኤታኖል ይታጠቡ እና በመጨረሻም በ60°ሴ በቫክዩም ምድጃ ውስጥ ለ2 ሰዓታት ያድርቁ።
   • የቴሉሪየም ሕክምና፡- በመጀመሪያ በውሃ ውስጥ (HNO₃:HCl=1:3) ውስጥ ለ30 ሰከንዶች ውስጥ አጥለቅልቀው የገጽታ ኦክሳይድን ያስወግዱ፣ በዲአዮኒዝድ ውሃ እስኪገለል ድረስ ያጠቡ፣ በአንሃይድሮዝ ኤታኖል ይታጠቡ እና በመጨረሻም በ80°ሴ በቫክዩም ምድጃ ውስጥ ለ3 ሰዓታት ያድርቁ።
3. ክብደት፡- ጥሬ እቃዎቹን በስቶይቺዮሜትሪክ ጥምርታ (Zn:Te=1:1) ይመዝኑ። በከፍተኛ ሙቀት ውስጥ የዚንክ ቮልታይላይዜሽን ሊኖር ስለሚችል ግምት ውስጥ በማስገባት ከ2-3% የሚሆነው ትርፍ ሊጨመር ይችላል።

2.2.2 የቁሳቁስ ማደባለቅ

1. መፍጨት እና ማደባለቅ፡- የተመዘነውን ዚንክ እና ቴሉሪየም በአጌት ሞርታር ውስጥ ያስቀምጡ እና ለ30 ደቂቃዎች በአርጎን በተሞላ የጓንት ሳጥን ውስጥ እስኪቀላቀሉ ድረስ ይፈጩ።
2. ፔሌቲዚንግ፡- የተቀላቀለውን ዱቄት ወደ ሻጋታ ውስጥ ያስቀምጡ እና ከ10-15MPa ግፊት በታች ከ10-20 ሚሜ የሆነ ዲያሜትር ያላቸውን እንክብሎች ይጫኑ።

2.2.3 የምላሽ መርከቦች ዝግጅት

1. የኳርትዝ ቱቦ ሕክምና፡ ከፍተኛ ንፁህ የሆኑ የኳርትዝ ቱቦዎችን ይምረጡ (ውስጣዊ ዲያሜትር 20-30ሚሜ፣ የግድግዳ ውፍረት 2-3ሚሜ)፣ በመጀመሪያ ለ24 ሰዓታት በአኳ ሬጂያ ውስጥ ያጠቡ፣ በዲአዮኒዝድ ውሃ በደንብ ያጠቡ እና በ120°ሴ ምድጃ ውስጥ ያድርቁ።
2. ማፈናቀል፡ ጥሬ እቃዎቹን በኳርትዝ ​​ቱቦ ውስጥ ያስቀምጡ፣ ከቫክዩም ሲስተም ጋር ያገናኙ እና እስከ ≤10⁻³Pa ድረስ ያርቁ።
3. ማሸጊያ፡- የኳርትዝ ቱቦውን በሃይድሮጂን-ኦክስጅን ነበልባል በመጠቀም ይዝጉት፣ ይህም የአየር መከላከያ እንዲሆን የማሸጊያው ርዝመት ≥50ሚሜ መሆኑን ያረጋግጡ።

2.2.4 ከፍተኛ የሙቀት መጠን ምላሽ

1. የመጀመሪያው የማሞቂያ ደረጃ፡ የታሸገውን የኳርትዝ ቱቦ በቱቦ ምድጃ ውስጥ ያስቀምጡ እና በ2-3°ሴ/ደቂቃ ፍጥነት እስከ 400°ሴ ድረስ ያሞቁ፣ በዚንክ እና በቴሉሪየም መካከል የመጀመሪያውን ምላሽ ለመስጠት ለ12 ሰዓታት ይቆዩ።
2. ሁለተኛው የማሞቂያ ደረጃ፡- በ1-2°ሴ/ደቂቃ እስከ 950-1050°ሴ (ከኳርትዝ ማለስለሻ ነጥብ 1100°ሴ በታች) ድረስ ማሞቅዎን ይቀጥሉ፣ ለ24-48 ሰዓታት ይቆዩ።
3. የቱቦ ሮኪንግ፡- በከፍተኛ የሙቀት መጠን ደረጃ ላይ፣ ምድጃውን በየ 2 ሰዓቱ በ 45° ያዘንብሉት እና የተዋሃዱ ንጥረ ነገሮችን በደንብ ለማዋሃድ ብዙ ጊዜ ይንቀጠቀጡ።
4. ማቀዝቀዝ፡- ምላሹ ከተጠናቀቀ በኋላ፣ በሙቀት ውጥረት ምክንያት የናሙና መሰንጠቅን ለመከላከል በ0.5-1°ሴ/ደቂቃ ወደ ክፍሉ የሙቀት መጠን ቀስ ብለው ያቀዘቅዙ።

2.2.5 የምርት ሂደት

1. የምርት ማስወገድ፡ የኳርትዝ ቱቦውን በጓንት ሳጥን ውስጥ ይክፈቱ እና የምላሽ ምርቱን ያስወግዱ።
2. መፍጨት፡- ምንም አይነት ምላሽ ያልተሰጣቸውን ቁሳቁሶች ለማስወገድ ምርቱን ወደ ዱቄት እንደገና ይለውጡት።
3. ማቃጠል፡- ዱቄቱን በአርጎን ከባቢ አየር ውስጥ ለ8 ሰዓታት በማቀዝቀዝ ለ8 ሰዓታት በአርጎን ከባቢ አየር ውስጥ ያቀዘቅዙት።
4. ባህሪ፡- የደረጃ ንፅህናን እና የኬሚካል ስብጥርን ለማረጋገጥ XRD፣ SEM፣ EDS፣ ወዘተ. ያከናውኑ።

2.3 የሂደት መለኪያ ማመቻቸት

1. የሙቀት መቆጣጠሪያ፡- በጣም ጥሩው የምላሽ ሙቀት 1000±20°ሴ ነው። ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ያልተሟላ ምላሽ ሊያስከትል ይችላል፣ ከፍተኛ የሙቀት መጠን ደግሞ የዚንክ መለዋወጥን ሊያስከትል ይችላል።
2. የጊዜ ቁጥጥር፡- የተሟላ ምላሽ ለማረጋገጥ የመቆያ ጊዜ ከ24 ሰዓታት በላይ መሆን አለበት።
3. የማቀዝቀዣ ፍጥነት፡- በዝግታ የማቀዝቀዝ መጠን (0.5-1°ሴ/ደቂቃ) ትላልቅ የክሪስታል ቅንጣቶችን ያስገኛል።

2.4 የጥቅሞች እና ጉዳቶች ትንተና

ጥቅሞች፡

• ቀላል ሂደት፣ ዝቅተኛ የመሳሪያ መስፈርቶች
• ለቡድን ምርት ተስማሚ
• ከፍተኛ የምርት ንፅህና

ጉዳቶች፡

• ከፍተኛ የምላሽ ሙቀት፣ ከፍተኛ የኃይል ፍጆታ
• ወጥ ያልሆነ የእህል መጠን ስርጭት
• አነስተኛ መጠን ያላቸው ምላሽ ያልተሰጡ ቁሳቁሶችን ሊይዝ ይችላል

3. የ ZnTe ውህደት የእንፋሎት ማጓጓዣ ዘዴ

3.1 መርህ

የእንፋሎት ማጓጓዣ ዘዴው ሪአክታንት ትነት ወደ ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ዞን ለማጓጓዝ ተሸካሚ ጋዝ ይጠቀማል፣ ይህም የሙቀት ቅልጥፍናዎችን በመቆጣጠር የZnTe አቅጣጫዊ እድገትን ያስገኛል። አዮዲን በተለምዶ እንደ ማጓጓዣ ወኪል ያገለግላል፡

ZnTe(ዎች) + I₂(ግ) ⇌ ZnI₂(ግ) + 1/2ቴ₂(ግ)

3.2 ዝርዝር አሰራር

3.2.1 ጥሬ እቃ ዝግጅት

1. የቁሳቁስ ምርጫ፡ ከፍተኛ ንፁህ የሆነ የZnTe ዱቄት (ንፁህነት ≥99.999%) ወይም ስቶይቺዮሜትሪክ በሆነ መልኩ የተቀላቀሉ የZn እና የTe ዱቄቶችን ይጠቀሙ።
2. የማጓጓዣ ወኪል ዝግጅት፡ ከፍተኛ ንፅህና ያለው የአዮዲን ክሪስታሎች (ንጽህና ≥99.99%)፣ ከ5-10 ሚ.ግ./ሴሜ ³ የምላሽ ቱቦ መጠን።
3. የኳርትዝ ቱቦ ሕክምና፡- እንደ ጠንካራ-ስቴት ምላሽ ዘዴ ተመሳሳይ ነው፣ ነገር ግን ረዣዥም የኳርትዝ ቱቦዎች (300-400 ሚሜ) ያስፈልጋሉ።

3.2.2 የቱቦ ጭነት

1. የቁሳቁስ አቀማመጥ፡- የZnTe ዱቄት ወይም የZn+Te ድብልቅን በኳርትዝ ​​ቱቦው አንድ ጫፍ ላይ ያስቀምጡ።
2. የአዮዲን መጨመር፡- የአዮዲን ክሪስታሎችን በጓንት ሳጥን ውስጥ ወደ ኳርትዝ ቱቦ ውስጥ ይጨምሩ።
3. መልቀቅ፡ እስከ ≤10⁻³ፓ ድረስ መልቀቅ።
4. ማሸጊያ፡- ቱቦውን አግድም አድርጎ በመያዝ በሃይድሮጂን-ኦክስጅን ነበልባል ይዝጉት።

3.2.3 የሙቀት ቅልመት ማዋቀር

1. የሞቃት ዞን የሙቀት መጠን፡ ወደ 850-900°ሴ ተቀናብሯል።
2. የቀዝቃዛ ዞን የሙቀት መጠን፡ ወደ 750-800°ሴ ተቀናብሯል።
3. የግራዲየንት ዞን ርዝመት፡ በግምት 100-150 ሚሜ።

3.2.4 የእድገት ሂደት

1. የመጀመሪያው ደረጃ፡- በ3°ሴ/ደቂቃ እስከ 500°ሴ ድረስ ያሞቁ፣ በአዮዲን እና በጥሬ ዕቃዎች መካከል የመጀመሪያውን ምላሽ ለመስጠት ለሁለት ሰዓታት ያቆዩት።
2. ሁለተኛ ደረጃ፡- እስከተወሰነው የሙቀት መጠን ድረስ ማሞቅዎን ይቀጥሉ፣ የሙቀት መጠኑን ቀስ በቀስ ይጠብቁ እና ለ7-14 ቀናት ያድጋሉ።
3. ማቀዝቀዝ፡- እድገቱ ከተጠናቀቀ በኋላ በ1°ሴ/ደቂቃ ወደ ክፍሉ የሙቀት መጠን ያቀዘቅዙ።

3.2.5 የምርት ስብስብ

1. የቱቦ መክፈቻ፡ የኳርትዝ ቱቦውን በጓንት ሳጥን ውስጥ ይክፈቱ።
2. ስብስብ፡- የZnTe ነጠላ ክሪስታሎችን በቀዝቃዛው ጫፍ ላይ ይሰብስቡ።
3. ማጽዳት፡- በውሃ የበለፀገ ኤታኖል በመጠቀም ለ5 ደቂቃዎች በአልትራሳውንድ ያጽዱ።

3.3 የሂደት መቆጣጠሪያ ነጥቦች

1. የአዮዲን መጠን ቁጥጥር፡ የአዮዲን ክምችት የትራንስፖርት ፍጥነትን ይነካል፤ በጣም ጥሩው ክልል 5-8 ሚ.ግ./ሴሜ³ ነው።
2. የሙቀት ቅልመት፡- ቅልመትን ከ50-100°ሴ ባለው ክልል ውስጥ ያቆዩ።
3. የእድገት ጊዜ፡ በተለምዶ ከ7-14 ቀናት፣ በሚፈለገው የክሪስታል መጠን ላይ በመመስረት።

3.4 የጥቅሞች እና ጉዳቶች ትንተና

ጥቅሞች፡

• ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ነጠላ ክሪስታሎች ማግኘት ይቻላል
• ትላልቅ የክሪስታል መጠኖች
• ከፍተኛ ንፅህና

ጉዳቶች፡

• ረጅም የእድገት ዑደቶች
• ከፍተኛ የመሳሪያ መስፈርቶች
• ዝቅተኛ ምርት

4. ለZnTe ናኖማቴሪያል ሲንተሲስ በመፍትሔ ላይ የተመሠረተ ዘዴ

4.1 መርህ

በመፍትሔ ላይ የተመሰረቱ ዘዴዎች ZnTe ናኖፓርቲክሎችን ወይም ናኖዋይሮችን ለማዘጋጀት በመፍትሔው ውስጥ ያሉትን ቅድመ-ግምታዊ ምላሾችን ይቆጣጠራሉ። የተለመደው ምላሽ የሚከተለው ነው፡

Zn²⁺ + HTe⁻ + OH⁻ → ZnTe + H₂O

4.2 ዝርዝር አሰራር

4.2.1 የሪአጀንት ዝግጅት

1. የዚንክ ምንጭ፡ ዚንክ አሲቴት (Zn(CH₃COO)₂·2H₂O)፣ ንፁህነት ≥99.99%።
2. የቴሉሪየም ምንጭ፡ ቴሉሪየም ዳይኦክሳይድ (TeO₂)፣ ንፅህና ≥99.99%።
3. የመቀነስ ወኪል፡ ሶዲየም ቦሮሃይድሬድ (NaBH₄)፣ ንፅህና ≥98%።
4. መሟሟቶች፡- የተወገደ ውሃ፣ ኤቲሊንዳይሚን፣ ኤታኖል።
5. ሰርፋክታንት፡ ሴቲልትሪሜቲላሞኒየም ብሮሚድ (ሲቲኤቢ)።

4.2.2 የቴሉሪየም ቅድመ-መከላከያ ዝግጅት

1. የመፍትሄ ዝግጅት፡ 0.1ሚሊ ሊትር ቴርኦን በ20ሚሊ ሊትር ውሃ ውስጥ ይቀልጡት።
2. የመቀነስ ምላሽ፡ 0.5ሚሞል NaBH₄ ይጨምሩ፣ ለ30 ደቂቃዎች በማግኔቲክ ያነሳሱት እና የHTe⁻ መፍትሄ ያመነጫሉ።
   ቴኦ₂ + 3BH₄⁻ + 3H₂O → ኤችቴ⁻ + 3B(ኦህ)₃ + 3H₂↑
3. የመከላከያ ከባቢ አየር፡- ኦክሳይድን ለመከላከል የናይትሮጅን ፍሰትን በሙሉ ይጠብቁ።

4.2.3 የ ZnTe ናኖፓርቲክል ውህደት

1. የዚንክ መፍትሄ ዝግጅት፡ 0.1ሚሊ ሊትር ዚንክ አሲቴት በ30ሚሊ ሊትር ኤቲሊንዳይሚን ውስጥ ይሟሟት።
2. የማደባለቅ ምላሽ፡- ቀስ በቀስ የHTe⁻ መፍትሄን ወደ ዚንክ መፍትሄው ይጨምሩ፣ በ80°ሴ ለ6 ሰዓታት ምላሽ ይስጡ።
3. ሴንትሪፉጌሽን፡- ከግብረመልስ በኋላ፣ ምርቱን ለመሰብሰብ በ10,000rpm ለ10 ደቂቃዎች ሴንትሪፉጅ ያድርጉ።
4. መታጠብ፡- በኤታኖልና በዲዮናይዝድ ውሃ ሦስት ጊዜ ተለዋጭ መታጠብ።
5. ማድረቅ፡ በቫክዩም በ60°ሴ ለ6 ሰዓታት ያድርቁ።

4.2.4 የZnTe ናኖዋይር ውህደት

1. የአብነት ተጨማሪ፡ 0.2 ግራም ሲቲኤቢ ወደ ዚንክ መፍትሄው ይጨምሩ።
2. የሃይድሮተርማል ምላሽ፡- የተቀላቀለውን መፍትሄ ወደ 50 ሚሊ ሊትር ቴፍሎን-የተሸፈነ አውቶክላቭ ያስተላልፉ፣ በ180°ሴ ለ12 ሰዓታት ምላሽ ይስጡ።
3. ድህረ-ሂደት፡- ልክ እንደ ናኖፓርቲክሎች።

4.3 የሂደት መለኪያ ማመቻቸት

1. የሙቀት መቆጣጠሪያ፡ ለናኖፓርቲክሎች ከ80-90°ሴ፣ ለናኖዋይሮች ከ180-200°ሴ።
2. የፒኤች እሴት፡ ከ9-11 መካከል ይቆዩ።
3. የምላሽ ጊዜ፡ ለናኖፓርቲክሎች ከ4-6 ሰዓታት፣ ለናኖዋይሮች ከ12-24 ሰዓታት።

4.4 የጥቅሞች እና ጉዳቶች ትንተና

ጥቅሞች፡

• ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ምላሽ፣ ኃይል ቆጣቢ
• ሊቆጣጠር የሚችል ሞርፎሎጂ እና መጠን
• ለትልቅ መጠን ምርት ተስማሚ

ጉዳቶች፡

• ምርቶች መርዛማ ንጥረ ነገሮችን ሊይዙ ይችላሉ
• ድህረ-ሂደት ያስፈልገዋል
• ዝቅተኛ የክሪስታል ጥራት

5. ለ ZnTe ቀጭን ፊልም ዝግጅት ሞለኪውላር ቢም ኤፒታክሲ (MBE)

5.1 መርህ

MBE የZn እና Te ሞለኪውላዊ ጨረሮችን በከፍተኛ የቫክዩም ሁኔታዎች ውስጥ ወደ አንድ ንጣፍ በመምራት የZnTe ነጠላ-ክሪስታል ቀጭን ፊልሞችን ያበቅላል፣ የጨረር ፍሰት ጥምርታዎችን እና የንጣፍ ሙቀትን በትክክል ይቆጣጠራል።

5.2 ዝርዝር አሰራር

5.2.1 የስርዓት ዝግጅት

1. የቫክዩም ሲስተም፡ የመሠረት ቫክዩም ≤1×10⁻⁸ፓ።
2. የምንጭ ዝግጅት፡
   • የዚንክ ምንጭ፡ በቢኤን ክሩሲብል ውስጥ 6N ከፍተኛ ንፁህ ዚንክ።
   • የቴሉሪየም ምንጭ፡ በፒቢኤን ክሩሲብል ውስጥ 6N ከፍተኛ ንፅህና ያለው ቴሉሪየም።
3. የንጣፍ ዝግጅት፡
   • በብዛት ጥቅም ላይ የዋለ የGaAs (100) ንጣፍ።
   • የንዑስ ክፍል ጽዳት፡ ኦርጋኒክ የማሟሟት ጽዳት → የአሲድ ኢቺንግ → የተወገደ ውሃ ማጠብ → ናይትሮጅን ማድረቅ።

5.2.2 የእድገት ሂደት

1. የንዑስ ክፍል ጋዝ መጨፍለቅ፡- የገጽታ አድሶርባቶችን ለማስወገድ በ200°ሴ ለ1 ሰዓት መጋገር።
2. የኦክሳይድ ማስወገጃ፡ እስከ 580°ሴ ድረስ ያሞቁ፣ የገጽታ ኦክሳይድን ለማስወገድ ለ10 ደቂቃዎች ያቆዩ።
3. የቡፈር ንብርብር እድገት፡ እስከ 300°ሴ ድረስ ያቀዘቅዙ፣ 10nm የZnTe ቋት ንብርብር ያሳድጉ።
4. ዋናው እድገት፡
   • የከርሰ ምድር ሙቀት፡ 280-320°ሴ።
   • የዚንክ ጨረር ተመጣጣኝ ግፊት፡ 1×10⁻⁶ቶር።
   • የቴሉሪየም ጨረር ተመጣጣኝ ግፊት፡ 2×10⁻⁶ቶር።
   • የV/III ጥምርታ በ1.5-2.0 ቁጥጥር ይደረግበታል።
   • የእድገት መጠን፡ 0.5-1μm/h።
5. ማቃጠል፡- ከእድገት በኋላ በ250°ሴ ለ30 ደቂቃዎች ማቃጠል።

5.2.3 በቦታው ውስጥ ክትትል

1. የRHEED ክትትል፡ የገጽታ መልሶ ግንባታ እና የእድገት ሁነታ በእውነተኛ ጊዜ የሚደረግ ምልከታ።
2. የጅምላ ስፔክትሮሜትሪ፡ የሞለኪውላር ጨረር ጥንካሬን ይቆጣጠሩ።
3. የኢንፍራሬድ ቴርሞሜትሪ፡- ትክክለኛ የንጣፍ የሙቀት መቆጣጠሪያ።

5.3 የሂደት መቆጣጠሪያ ነጥቦች

1. የሙቀት መቆጣጠሪያ፡ የከርሰ ምድር ሙቀት የክሪስታል ጥራትን እና የገጽታ ሞርፎሎጂን ይነካል።
2. የጨረር ፍሰት ጥምርታ፡ የTe/Zn ጥምርታ የጉድለት ዓይነቶችን እና ክምችቶችን ይነካል።
3. የእድገት መጠን፡ ዝቅተኛ ዋጋዎች የክሪስታል ጥራትን ያሻሽላሉ።

5.4 የጥቅሞች እና ጉዳቶች ትንተና

ጥቅሞች፡

• ትክክለኛ ቅንብር እና የዶፒንግ ቁጥጥር።
• ከፍተኛ ጥራት ያላቸው ነጠላ-ክሪስታል ፊልሞች።
• በአቶሚክ ጠፍጣፋ ቦታዎች ላይ ሊደረስባቸው የሚችል።

ጉዳቶች፡

• ውድ መሣሪያዎች።
• ዝግተኛ የእድገት መጠን።
• የላቀ የአሠራር ክህሎቶችን ይጠይቃል።

6. ሌሎች የውህደት ዘዴዎች

6.1 የኬሚካል ትነት ክምችት (CVD)

1. ቅድመ-መቅሰሪያዎች፡- ዳይኤቲልዚንክ (DEZn) እና ዳይሶፕሮፒልቴሉራይድ (DIPTe)።
2. የምላሽ ሙቀት፡ 400-500°ሴ።
3. ተሸካሚ ጋዝ፡ ከፍተኛ ንፁህ ናይትሮጅን ወይም ሃይድሮጂን።
4. ግፊት፡ ከባቢ አየር ወይም ዝቅተኛ ግፊት (10-100Torr)።

6.2 የሙቀት ትነት

1. የምንጭ ቁሳቁስ፡ ከፍተኛ ንፅህና ያለው የZnTe ዱቄት።
2. የቫኩም መጠን፡ ≤1×10⁻⁴ፓ።
3. የትነት ሙቀት፡ 1000-1100°ሴ።
4. የከርሰ ምድር ሙቀት፡ 200-300°ሴ።

7. መደምደሚያ

ዚንክ ቴሉሪድን ለማዋሃድ የተለያዩ ዘዴዎች አሉ፣ እያንዳንዳቸው የራሳቸው ጥቅሞች እና ጉዳቶች አሏቸው። ጠንካራ-ሁኔታ ምላሽ ለጅምላ ቁሳቁስ ዝግጅት ተስማሚ ነው፣ የእንፋሎት ትራንስፖርት ከፍተኛ ጥራት ያላቸውን ነጠላ ክሪስታሎች ያስገኛል፣ የመፍትሄ ዘዴዎች ለናኖማቴሪያሎች ተስማሚ ናቸው፣ እና MBE ለከፍተኛ ጥራት ላላቸው ቀጭን ፊልሞች ጥቅም ላይ ይውላል። ተግባራዊ አፕሊኬሽኖች ከፍተኛ አፈጻጸም ያላቸውን የZnTe ቁሳቁሶችን ለማግኘት በአስፈላጊ መስፈርቶች ላይ በመመስረት ተገቢውን ዘዴ መምረጥ አለባቸው፣ የሂደት መለኪያዎችን በጥብቅ መቆጣጠር አለባቸው። የወደፊት አቅጣጫዎች ዝቅተኛ የሙቀት መጠን ውህደት፣ የሞርፎሎጂ ቁጥጥር እና የዶፒንግ ሂደት ማመቻቸትን ያካትታሉ።